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美国康宁平面度仪Tropel FlatMaster MSP 40

flatmaster 40平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。

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平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等,为精密部件的制造商提供了业界领先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的 数据。flatmaster 40平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。 美国flat master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 美国康宁corning平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科 学领域产品的关键组成部分。


主要优势
▶提高产品质量,制造良好率和生产率
降低制造成本
增进对过程的了解
缩短上市时间
提高客户满意度


康宁推出了Tropel®FlatMaster®MSP(多表面轮廓)光学计量系统; 

非接触式频率扫描干涉仪,能够测量具有多个表面的精密零件。

只需几秒钟即可测量各种材料和表面光洁度的平面度,平行度和高度/深度,并且亚微米精度。


技术特点:
▪    无接触和无损伤测量 
    适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料 
    适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂 
    适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面

可测量多种不同指标:
    厚度/ttv/sori/ltv/ldof/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓 
    完整的平面度测量和分析系统: 
    三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度 
    可以实现自动、快速、准确、稳定的测量 
    超过15年的工业应用,全球几百台的装机量

部分技术参数:
    精确度:50nm (2.0μ′) 
    重复性:15 nm(0.6μ′)(1 sigma) 
    分辨率:5nm (0.2μ′) 
    可测量工件尺寸:5mm-40mm(更小工件也可提供) 
    动态测量范围:>50um 
    测量数据点:230,000 / measurement 
    测量时间:5秒 
    电源:~220v 50hz





器型号

FlatMaster MSP40

FlatMaster MSP150

FlatMaster MSP300

测量原理

入射式扫描干涉

尺寸

~φ40mm

~φ150mm

~φ300mm

*大测量高度

40mm

60mm

300mm

测量波长

830nm  AlGaAs半导体激光器

测量数据数

*大约78万点

*大约400万点

测量分辨率

0.01μm

测量精度(Accuracy)

平面度

0.060μm

平行度

0.100μm

深度

0.250μm

重复精度(Repeatability)

平面度

0.02μm

平行度

0.025μm

深度 0.100μm

测量时间

从样品设置到分析约60秒





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