平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等，为精密部件的制造商提供了业界领先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的 数据。flatmaster 40平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。 美国flat master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 美国康宁corning平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科 学领域产品的关键组成部分。

主要优势：
▶提高产品质量，制造良好率和生产率
▶降低制造成本
▶增进对过程的了解
▶缩短上市时间
▶提高客户满意度

技术特点：
▪    无接触和无损伤测量 
▪    适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 
▪    适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂 
▪    适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

可测量多种不同指标：
▪    厚度/ttv/sori/ltv/ldof/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓 
▪    完整的平面度测量和分析系统： 
▪    三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度 
▪    可以实现自动、快速、准确、稳定的测量 
▪    超过15年的工业应用，全球几百台的装机量

部分技术参数：
▪    精确度：50nm （2.0μ′） 
▪    重复性：15 nm（0.6μ′）（1 sigma） 
▪    分辨率：5nm （0.2μ′） 
▪    可测量工件尺寸：5mm-40mm（更小工件也可提供） 
▪    动态测量范围：>50um 
▪    测量数据点：230,000 / measurement 
▪    测量时间：5秒 
▪    电源：～220v 50hz

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