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ZYGO Verifire高性价比菲索型激光干涉仪

可靠的高性价比的菲索型激光干涉仪,融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等。

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ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire™激光干涉仪,继承了工业标准GPI™激光干涉仪系列的所有优点,融合了机械相移技术、创造性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等,是ZYGO技术的集中体现。 所有VeriFire™系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用。Verif ire"系统真正的斐索型激光光路设计延续了zYG0在面形计量行业*与伦比的经验。共光路的设计结合ZYG0**的采集算法,和功能强大的批软件实现了高精度的表面计量与先进的分析能力。

关键性能:

▪    斐索型共光路系统保证精密测量
▪    友好的图形用户界面,易于生产线上操作
▪    创新箅法使其在振动环境中也能实现准确计量
▪    利用先进的过程控制技术,快速提取测试中不变的信息
▪    每一帧数据都将振动信息冻结


所有 Verifire™ 系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用,列于下表:

型號: XPZ QPZ ATZ MST Asphere
核心技術: 相位移式干涉儀 (PSI) 傅立葉轉換相位移
式干涉儀
**非球面演算
法相位移式干涉仪
光源: 點光源 點光源和 Ring of Fire™環形光源(波紋抑制)
變焦: 自動 1-6X 數位控制 1-5X
聚焦: 自動 數控步進焦距控制
解析度: 640 × 480 圖元 1k × 1k 圖元
幀速: 75 Hz 100 Hz 43 Hz


ZYG0激光器长寿命、高功率、稳频

..........ZYG0专有的这款激光器的的激光功率和寿命均远远超过市售的激光干涉仪中常用的氦氖激光器。
..........其寿命评定超过60000小时,所以我们的激光器可以承诺3年免费质保,很大限度地减少停机时间和提高您的投资回报率。
..........Verifire干涉仪系统提供平面、球面、光学系统及组件的透射波前的快速,高精度测量。
..........可以测量玻璃或塑料光学元件,如平板、透镜和棱镜,甚至精密机加工的金属和陶瓷表面。
Smar tAveraging”技术
..........测量平均对于减少随机噪声源是一种非常有效的办法,如空气湍流的影响,但如何确定理想的平均次数是令人头疼的-.
..........平均次数太少影响测试效果,次数太多则浪费测试时间。
..........Smar tAveraging技术是ZYC0的MXn软件中一个特别的功能,可以自动计算评估并采用理想的平均次数。
..........Smar tAveraging Tm可以减少操作员的工作量,减少操作者的人为影响,增加测量结果的一致性。
QPSIM抗震型干涉计量
..........优化的光学系统设计结合高功率激光器,使ZYG0专有的QPS抗震干涉技术,能够在震动环境中实现可靠的“零波纹”相位测量,并可以在质量控制实验室和生产现场提供准确的表面计量。

球面曲率半径的测量


集成大量常用测量程序模块

▪    多个样品的同时分析
▪    球面曲率半径的测量
▪    角锥和棱镜测量
▪    双球面和三平板的测量
▪    相对角度和楔板楔角的测量
▪    材料均匀性的测量
▪    傅立叶变换移相干涉测量(MST型)
▪    动态设备如MEMS的测量
▪    薄膜上下层形貌和厚度的测量
▪    金属零件的测量




简单的定制过程,用户可调

▪    设定数控采集和数据处理过程中的各种参数
▪    选择需要显示的图像曲线和数据结果
▪    几百种符合工业标准的数据可供选择
▪    自定义屏幕上各种窗口的编排
▪    保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果
▪    适用于工业化生产的软件
▪    质量控制--自动显示”合格/不合格”
▪    编程功能--仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息
▪    根据用户定义的计算公式,产生相应的结果
▪    实时屏现SPC
▪    自动数据保存和统计
▪    应用程序”锁定“功能

选择需要显示的图像曲线和数据结果

ZYGO Verifire高性价比菲索型激光干涉仪


强大的数据分析功能

▪    数据滤波和剪辑
▪    像差计算
▪    PSF和MTF图
▪    斜率图/功率谱密度/环绕能
▪    ASCII和"XYZ"数据格式
▪    Zernike分析
▪    数据和图像加减、缩放、旋转和转换
▪    ZEMAX、CodeV和0SL0数据格式




系统

测量功能 精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
测量技术 QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式(PSI)
校准系统 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
测量光束直径 4″(102mm)或6″(152mm)
对准视场范围FOV 4″:±3°;6″:±2°;
光学中心线 4.25″(108mm)
激光光源 大功率稳频氦-氖激光,IIIa级
波长 633 nm
频率稳定度 < 0.0001 nm
相干长度 >100m
成像分辨率 1024 x 1024像素
帧速 100Hz(PSI)
数据采集时间 130-300ms
数据模式 8位
放大 电控1-5X
偏振 接近圆偏振(1.2:1或者更好)
光曈调焦范围 4″:±2.5m;6″:±5.5m;
计算机和软件 高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO**软件 MetroproTM 9和MetroproTM X(2)
安装构造 水平卧式或垂直立式
附件 详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件,OMP-0463
尺寸(长x宽x高) 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
重量 4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg)
电源 100-240VAC,50/60Hz


工作环境:

温度 15°C - 30°C (59°F - 86°F)
温度变化率 <1.0°C/15min
湿度 相对湿度5% - 95% , 无凝结
隔振 QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量;机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。

 

性能参数:

RMS重复性(3) < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
RMS波前重复性(4) < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
像素峰值偏差(5) < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)


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