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ZYGO Verifire XPZ相位调变镭射干涉仪

ZYGO Verifire™ XPZ型镭射干涉仪可以为光学元器件的平面、球面面形和透射波阵面提供快速、高精度干涉测量

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Verifire™ XPZ™ - 是高精度高重复性的相位调变镭射干涉仪,具有 640× 480 图元解析度,与 ZYGO 功能强大的MetroPro® 软体进行资料处理和分析。ZYGO Verifire™ XPZ型镭射干涉仪可以为光学元器件的平面、球面面形和透射波阵面提供快速、高精度干涉测量,配合功能强大的MetroPro®软体可以获得高重复性和高精度的测量结果。在过去的三十多年,我们的干涉仪是世界各地量测设备的*选。Verifire™ XPZ运用精确相位调变技术对物件的细微面形进行精密测量,具有很高的精确度和重复性。测量时对干涉腔长进行精确调制,同时640 x 480 图元CCD进行资料撷取多个条纹图像,由MetroPro®软体分析计算。


在使用时有如下应用

        ▪ 可以测量玻璃或者塑胶光学元件,如:
        ▪ 平面、透镜、棱镜;
        ▪ 还有精密合金件、电脑硬碟磁片、轴承和封接面;
        ▪ 抛光件、陶瓷、接触镜等。




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