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英国泰勒霍普森白光干涉仪/非接触式轮廓仪CCI HD

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度测量功能,还可以提供两种类型的膜厚测量。 近年来厚膜分析被用于研究厚度至约 1.5 微米的半透明涂料;测量的厚度限制取决于材料的折射率和标的物的 NA。

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泰勒霍普森白光干涉仪/非接触式轮廓仪

CCI HD 是一种非接触式光学 3D 轮廓仪,具有测量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有**的新型关联算法,来查找由我们的精密光学扫描装置产生的干涉图的相干峰和相位。 这种新型的 CCI HD 整合了世界**的非接触式尺寸测量功能和先进的厚薄膜测量技术。

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度测量功能,还可以提供两种类型的膜厚测量。 近年来厚膜分析被用于研究厚度至约 1.5 微米的半透明涂料;测量的厚度限制取决于材料的折射率和标的物的 NA。 测量较薄的涂层被证实为难度更高。现在通过干涉测量法可以研究厚度至 50 纳米(同样取决于折射率)的薄膜涂层。 采用这种新型方法,可以在单次测量中研究膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层表面的剥离等特性。


在使用时有如下特性

     。 2048 x 2048像素阵列,视场广,高分辨率
     。 全量程0.1埃的分辨率
     。 适用于0.3% - 100%的表面反射率
     。 RMS 重复精度<0.2埃,阶跃高度重复精度<0.1%
     。 多语言版本的64位控制和分析软件


英国泰勒霍普森白光干涉仪/非接触式轮廓仪CCI HD

先进的白光干涉仪:

     。 2.2 mm垂直范围,带闭环无压电Z轴扫描仪
     。 AutoStitch作为标准配置,可高分辨率测量大型零件
     。 2048 x 2048像素阵列用于高分辨率的大视野
     。 新型Claritas 20照明系统,角度灵敏度更高,可提高数据质量

提高数据质量:

     。 <0.2Åstrom RMS重复性,<0.1%台阶高度重复性
     。 FEA优化的机械设计,具有出色的R&R功能
     。 在整个测量范围内的分辨率为0.1埃
     。 内置防振功能,可实现*佳数据质量


无限应用的可能性

表面的三个元素对于组件的功能至关重要。 卓越的粗糙度能力与大面积测量,先进的数据分析(2D和3D)以及泰勒·霍布森(Taylor Hobson)的专业知识相结合,可提供业界**的计量技术。 许多用户依靠CCI MP-HS解决其他仪器完全无法处理的测量问题。凭借出色的量程、*高的分辨率以及操作简便的优势,成为在众多应用场合中研发和质量保证的理想工具。

   

●  薄膜厚度
●  表面结构
●  第一代太阳能电池
●  第二代太阳能电池
●  LED灯
●  MEMS

●  晶圆粗糙度
●  材料研究
●  数据存储
●  抛光光学器件
●  织纹钢
●  金刚石车削

●  医疗植入物
●  汽车喷油器
●  曲轴表面处理
●  润滑剂厚度
●  轴承粗糙度
●  纸/碳粉




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