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泰勒白光干涉三维轮廓仪Talysurf CCI 2000

Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

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泰勒白光干涉表面轮廓仪介绍

Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。CCI2000 采用了先进的白光干涉技术。创新的**相关相干算法,通过建立模板,能够计算出带光源相干峰与相位的位置。无论是抛光表面还是粗糙表面,只要反射率超过 0.5%,就能够被检测。在非接触表面三维测量中,CCI2000以100μm范围内0.1nm的高分辨带来不凡的立体成像效果。


泰勒白光干涉三维轮廓仪Talysurf CCI 2000

关键特性:

1.0Å垂直分辨率
2.0Å底噪
1,000,000个数据点
0.1ÅRMS重复精度
0.1%步重复性



在使用时有如下特性

高精度、低噪音、百万数据点、数字技术,泰勒霍普森公司白光干涉仪的问世,宣告着微 观世界表面三维形貌时代到来。对于光学、半导体、微纳米机械、汽车、医药、轴承等工业 而言,如果您需要非接触的方法来检测物体的三维表面形貌、表面粗糙度、台阶高度、微观 三维尺寸,CCI2000 提供了完美的侧向精度、纳米级的分辨率、非接触测量、三维形貌显示, 是您理想的选择。每当需要进行非接触式高精度计量的理想方法来进行粗糙度,台阶高度或微观尺寸测量时,泰勒·霍普森(Taylor Hobson)都能提供您期望的结果。 Talysurf CCI 2000具有宽的横向范围和埃分辨率,可为光学,MEMS,半导体,汽车,医疗和轴承行业的研究和制造提供无损3D测量。

数据分析工具 

。 以新国际参数定义的二维及三维数据显示。 
。 面积与体积参数 
。 二维参数 120 个 
。 三维参数 40 个 
。 数据处理 
。 自动的台阶高度计算

可溯源的结果

。 我们采用可以溯源的国际样块,对侧面方向与垂直方向进行标定。 
。 对于我们所测量的几何的,空间的各种数据,都可以得到认证。

泰勒白光干涉三维轮廓仪Talysurf CCI 2000


关于英国泰勒霍普森

        笃挚仪器(上海)有限公司专业代理英国泰勒粗糙度仪轮廓仪、粗糙度轮廓仪、圆度仪圆柱度仪等精密测量仪器。英国泰勒霍普森Taylor Hobson隶属于美国阿美特克AMETEK集团,是不断创新的精密计量领域的世界**者,杰出的声誉源自100多年的计量设计和精密制造工程经验。代表着表面粗糙度及形状计量学领域的高精度等级的计量水平,并为众多应用领域提供接触和非接触测量解决方案。英国泰勒拥有大量以尖端发明**为代表的知识产权,同时仍保有大规模的研发团队和高额资金投入。并且不断将科研成果应用于新产品的开发和改进,使其更加完善地服务于用户。


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