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英国泰勒Talysurf CCI Lite全自动光学测量系统

Talysurf CCI Lite是基于世界*先相关相干计算法的新一代光学干涉仪,优越的光学测量结果同时适应精密工业测量与研究部门。

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Taylor Hobson是一个全球性的著名精密仪器制造商,泰勒的仪器以纳米级的检测及高精度著名。Talysurf CCI Lite是基于世界*先相关相干计算法的新一代光学干涉仪,优越的光学测量结果同时适应精密工业测量与研究部门。The Talysurf CCI Lite 是一台先进的光学干涉 仪,它采用了创新的,**的相关相干算法, 去寻找通过光学扫描得到的干涉图象中的一致 点与相位The Talysurf CCI Lite 对于高精度的3D测量 而言是无价的,通过采用不同的物镜头,可 以检测不同的表面,全自动的工作台能适应 高水平的灵活应用。


在使用时有如下特性

    ▪ 强大而 稳定的Z轴扫描
    ▪ 快速自动XY平台与Z轴聚焦
    ▪ 灵活的Z轴范围-2.2mmZ轴范围(缝补功能> 10mm)
    ▪ 精确的数据点-标准配置超过百万的采集数据
    ▪ 简单-对所有表面都只需要一种测量模式

英国泰勒Talysurf CCI Lite全自动光学测量系统


所有的表面都能够被检测

Talysurf CCI Lite的好处还在于它的多功能 性,无论是抛光,粗糙的,曲面的,平面的 或者台阶表面,只要反射率在0.3%到100% 之间,都可以在同意模式里测量,而不用担 心功能性的错误。各种材料类型都可以被测量,如玻璃,液体, 照片,金属,复合材料及粘膜。

数据分析 

表面能够使用国际通用的数据,被量化地分 析三维与二维的表面数据,区域与容积数据
        •  120种E二维参数,40种三维参数
        •  计数与分类
        •  自动台阶高度测量

Talysurf CCI物镜

自动操作 :

标准的自动控制,可编程的XYZ平台及自动 聚焦,能够非常容易地测量单一表面或复杂 形状。XYZ缝补功能更满足了形状陡峭的表 面与大面积测量的需要

Talysurf CCI物镜 :

挑选合适的物镜 对CCI系统而言,合适的物镜是非常必要的,镜头的选择取决于我们的应用,关键的参数为: 
• 视野范围,确定测量的区域 
• 光学分辨率,它能够区分出很小的特征。 
• 倾斜度,她显示出怎样的曲面能够被测量,特别是很粗糙的表面 所有的物镜都有专用的储存盒以避免被损坏。

系统参数

测量方法 相关相干算法
Z轴测量范围 2.2 mm as standard (>10mm with Z stitchiing)
Z轴分辨率[max] 0.01 nm [0.1 Å]
噪音Noise floor (Z) <0.08 nm [0.8 Å] 1
RMS重复性精度 <0.02 nm [0.2 Å] 2
测量面积(X, Y) 6.6 mm (>75mm with XY stitching)
测量数据点(X, Y) 1024 x 1024 standard
XY分辨率 0.4 - 0.6µm (surface dependent)
台阶高度重复性 < 0.1%
表面反射率 0.3% - 100%
测量时间 5-40 seconds (typical


Talysurf CCI标定标准

        作为高精度的仪器制造商,泰勒霍普森提供了非常好的标定标准 高标准的标准块都由我们的UKAS实验室提供证书。台阶高度标准块用于标定垂直方向的精度。通过执行自动的标定程序,通过标定将使您的测量结果可以溯源到国际标准。侧向标定被用于仪器的放大倍率。它能同时校正视场与像素,通过采用同心圆的标准来保证1像素的精确性。泰勒霍普森公司提供了高0。2nmRMS的二氧化硅标准块来进行标定,通过标定能够检测到低于0.04nm的表面。

5 µm台阶高度标准块

5 µm台阶高度标准块

侧向标准块

侧向标准块

平面度标准块 0.2 nm RMS

平面度标准块 0.2 nm RMS 

Talymap表面分析软件TalyMap surface analysis software

        Talymap表面分析软件百广泛地使用到研究部门与工业产品研究系统中,这套先进的分析软件已经被应用到包括研磨,军工,汽车,轴承,化妆品,切削工具,金属,电子,医药,MEMS,模具,纸张,印刷电路及半导体行业中。Talymap由一群专业的软件,计量工程师进行开发来满足当前和未来在表面计量上的应用。软件随着新的标准与方法不停地进行更新。

Talymap表面分析软件TalyMap surface analysis software


英国泰勒Talysurf CCI Lite技术文件一

英国泰勒Talysurf CCI Lite技术文件二

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