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TONiC UHV rgsz20增量式直光栅

TONiC UHV是雷尼绍向高真空应用领域推出的小型非接触式光栅系统,可为客户提供更强的运动控制性能。

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什么是TONiC UHV?
TONiC UHV是雷尼绍向高真空应用领域推出的小型非接触式光栅系统,可为客户提供更强的运动控制性能。
TONiC的速度高达10 m/s,与Ti接口结合使用,其在线性和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差大,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。




什么是RGSZ栅尺?
RGSZ是一款由薄型柔性钢带制成的带状栅尺,栅距为20 µm,钢带经过镀金具有更高的反射率和耐腐蚀性,并具有用户可选的IN-TRAC参考零位。可以使用背面自带的UHV兼容不干胶将其安装到金属、陶瓷和合成材料等大多数工程材料上。RGSZ可用栅尺端压块固定到基体上,并与基体的热膨胀系数保持一致。栅尺成卷供货,用户可根据需要任意裁剪,可满足长达50 m的轴长需要。

为什么选择这种光栅系统? 
超高真空 (UHV)
TONiC UHV读数头具有标准TONiC读数头的优异性能,而且其设计和制造使用了UHV兼容材料和工艺,因此适合用于低至10 -10 Torr的高真空条件。
TONiC UHV系列光栅及附件由真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低,进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境,适用于晶片处理/测试、科学仪器、光谱学、真空检测设备等多种应用。

长度长
为减少用户的库存需要并尽可能增强生产灵活性,栅尺可以成卷供货,长度按需裁剪。有多种长度可供选择,*长可达50 m。

尺寸小,但可靠性和性能佳
TONiC读数头采用第三代光学滤波系统,噪声(抖动)更低,包括自动增益控制和自动偏置控制在内的动态信号处理使其功能更强大,因此具有优异的可靠性和稳定性能。这种组合全部集成到读数头内部,可提供高质量的信号纯度和较低的电子细分误差(仅有±30 nm)。结果具有更为平稳的速度控制,并且扫描性能和位置稳定性都获得提高,从而有助于*大限度减少真空条件下电机中积聚的热量;真空应用的所有关键参数均存储在紧凑型读数头中。

安装更加方便快捷
读数头上的LED安装指示灯直观显示信号强度,而可选的诊断组件在机器收起读数头后可远程检查系统性能。只需按下按钮,即可校准参考零位和增量信号,无需机械调整或其他诊断工具。客户可选的IN-TRAC光学参考零位直接刻划在增量栅尺上,不仅令设计紧凑,而且校准步骤也更简单。这样可产生参考零位输出,在整个工作温度和速度范围内双向重复精度都能够达到单位分辨率。


接口选项

TD(双分辨率)接口
可选双分辨率正交输出。 Ti接口(方形)
是要求高速运动以及高精度移动的应用的理想选择。

DOP(双输出)接口
提供同步的数字方波和1 Vpp信号。
设计用于需要将一个或多个操作与运动轴同步的应用场合。

TONiC双输出 (DOP) 接口



 可选诊断组件
TONiC™诊断组件(软件和硬件)
TONiC诊断软件可用于优化TONiC光栅的安装,并提供快速全面的系统校准方案。该软件必须与TONiC诊断硬件配合使用,硬件可向雷尼绍购买(订货号为A-9411-0011)。该硬件内嵌至客户端电子设备,或通过USB电缆(组件中提供)连接至计算机。

 

了解有关TONiC诊断组件的详细信息。


技术规格

测量标准

RGSZ20:镀金钢带,带保护膜或聚酯涂层

还提供不带参考零位的栅尺,如RGSN20

读数头尺寸 (LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

栅距

20 µm

热膨胀系数

用端压块固定栅尺端部后,保持与基体材料膨胀系数一致

精度等级

±15 µm/m(应用2点补偿时为±3 µm/m)

参考零位

间距为50 mm时的IN-TRAC参考零位

选择器磁铁用于识别选定的参考零位

限位开关

单限位或双限位(订货时选择)

栅尺长度

最长达50,000 mm

最高速度

模拟

数字

(详见规格手册)

-3 dB时可达10 m/s

最高可达10 m/s

电子细分误差 (SDE)

一般 <±30 nm

动态信号控制

实时信号调节,包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC),可在操作期间实现性能优化

增量信号

模拟

数字


1 Vpp(周期为20 µm)

分辨率从5 µm至1 nm

电气连接

电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型插头(直接连接至TONiC接口)

电源

5 V ±10%,<100 mA(模拟系统),<200 mA(数字系统)(无端接)

读数头功耗 <100 mA

振动(工作)

55 Hz至2000 Hz时100 m/s2 (最大值)

冲击(非工作)

1000 m/s2,6 ms,½正弦

工作温度(系统)

0 °C至+70 °C

烘焙温度(非工作)

120 °C(仅限读数头和栅尺)

防护等级

读数头:IP20

接口:IP20

电缆构造

镀锡编织铜线电缆,单层屏蔽,带FEP绝缘

请参阅规格手册,了解详细信息。


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