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TONiC rexm增量式圆光栅

TONiC UHV读数头具有标准TONiC读数头的优异性能,而且其设计和制造使用了UHV兼容材料和工艺,因此适合用于低至10 -10 Torr的高真空条件。

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什么是TONiC UHV?

TONiC UHV是雷尼绍向高真空应用领域推出的小型非接触式光栅系统,可为客户提供更强的运动控制性能。
TONiC的速度高达10 m/s,与Ti接口结合使用,其在线性和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差大,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。




什么是REXM圆光栅?

RESM为一体式不锈钢圆光栅,其柱面上直接刻有20 µm栅距的增量式刻线,并具有IN-TRAC™光学参考零位。它的截面较大,能够减少除了偏心之外的所有安装误差,而偏心则可使用一个DSi(双信号接口)和两个读数头轻松修正。REXM的总体安装精度为±1角秒,零联接误差,而且还具有优异的重复精度。
它提供多种尺寸(直径从52 mm到417 mm)和刻线数,所有这些都具有内径大、安装灵活的特点。非接触形式消除了传统封闭式光栅固有的反向间隙、扭转误差(扭变)及其他机械滞后误差。

为什么选择这种光栅系统?

超高真空 (UHV)

TONiC UHV读数头具有标准TONiC读数头的优异性能,而且其设计和制造使用了UHV兼容材料和工艺,因此适合用于低至10 -10 Torr的高真空条件。
TONiC UHV系列光栅及附件由真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低,进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境,适用于晶片处理/测试、科学仪器、光谱学、真空检测设备等多种应用。

高安装精度

为了实现高水平角度测量,REXM配备两个TONiC读数头和一个TONiC DSi(双信号接口),具有重复精度高和零联接误差的特点,而且总体安装精度优于±1角秒。REXM的截面更厚,可*大程度上降低除偏心以外的所有安装误差,而偏心可使用两个TONiC读数头的联合信号输出轻松修正。一旦DSi消除偏心,剩余的误差就只有刻线误差和电子细分误差,而这两种误差都非常小。

尺寸小,但可靠性和性能佳

TONiC读数头采用第三代光学滤波系统,噪声(抖动)更低,包括自动增益控制和自动偏置控制在内的动态信号处理使其功能更强大,因此具有优异的可靠性和稳定性能。这种组合全部集成到读数头内部,可提供高质量的信号纯度和较低的电子细分误差(仅有±30 nm)。结果具有更为平稳的速度控制,并且扫描性能和位置稳定性都获得提高,从而有助于*大限度减少真空条件下电机中积聚的热量;真空应用的所有关键参数均存储在紧凑型读数头中。

安装更加方便快捷

读数头上的LED安装指示灯直观显示信号强度,而可选的诊断组件在机器收起读数头后可远程检查系统性能。只需按下按钮,即可校准参考零位和增量信号,无需机械调整或其他诊断工具。客户可选的IN-TRAC光学参考零位直接刻划在增量栅尺上,不仅令设计紧凑,而且校准步骤也更简单。这样可产生参考零位输出,在整个工作温度和速度范围内双向重复精度都能够达到单位分辨率。

接口选项

TD(双分辨率)接口

  • 可选双分辨率正交输出。
  • 是要求高速运动以及高精度移动的应用的理想选择。
Ti接口(方形)

DOP(双输出)接口

  • 提供同步的数字方波和模拟1 Vpp信号。
  • 设计用于需要将一个或多个操作与运动轴同步的应用场合。
  • TONiC双输出 (DOP) 接口

DSi(双信号接口盒)

  • 雷尼绍的DSi接口盒将来自REXM圆光栅(针对部分圆弧应用则为REXT圆光栅)上的两个TONiC读数头的增量信号组合在一起,对轴承跳动效应进行补偿并消除奇次谐波误差(包括偏心),以提供±2.0角秒的典型总体安装精度。


技术规格

测量标准

REXM:一体式高精度不锈钢圆光栅

还提供适合部分圆弧应用的栅尺,如REXT

栅距

20 µm

读数头尺寸 (LxHxW)

35 mm x 13.5mm x 10mm

圆光栅外径

52 mm至417 mm

刻线数

8192至65,536(取决于圆光栅大小)

参考零位

REXM:带有单个IN-TRAC 参考零位的圆光栅

REXT:适合部分圆弧应用的带有两个参考零位的圆光栅

总体安装精度(配有2个读数头)

(直径≥100 mm)±1角秒

(直径75 mm)±1.5角秒

(直径≤57 mm)±2角秒

最高速度

模拟

数字

(详见规格手册)

-3 dB时为3673 rpm(在52 mm REXM上)

3673 rpm(TONiC:52 mm REXM上分辨率为5 µm)

电子细分误差 (SDE)

一般 <±30 nm

动态信号控制

实时信号调节,包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC),可在操作期间实现性能优化

增量信号

模拟

数字

(查看规格手册了解角度分辨率详情)

1 Vpp(周期为20 µm)

分辨率从5 µm至1 nm

电气连接

电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型插头(直接连接至TONiC接口)

电源

5 V ±10%,<100 mA(模拟系统),<200 mA(数字系统)(无端接)

读数头功耗 <100 mA

振动(工作)

55 Hz至2000 Hz时100 m/s2 (最大值)

冲击(非工作)

1000 m/s2,6 ms,½正弦

工作温度(系统)

0 °C至+70 °C

烘焙温度(非工作)

120 °C(仅限读数头和栅尺)

防护等级

读数头:IP20

接口:IP20

电缆构造

镀锡编织铜线电缆,单层屏蔽,带FEP绝缘

请参阅规格手册,了解详细信息。

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