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Tropel FlatMaster MSP150系列平面度测量仪

Tropel MSP150采用先进的步进式激光源可以快速、准确的测星150mm直径的晶片。在很短的时间内测星整个平面并收集超过300万点数据

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Tropel FlatMaster MSP 150可以测量直径为150mm的各类晶体材料(蓝宝石,碳化硅,砷化镓,玻璃等)的平面度、厚度和厚度公差,对3DIC集成非常重要。传统的接触式测量仪或者普通干涉仪在应对大尺寸晶片时存在测量速度过慢或者没有足够测量精度的缺点。Tropel MSP150采用先进的步进式激光源可以快速、准确的测星150mm直径的晶片。在很短的时间内测星整个平面并收集超过300万点数据,构造真实三维立体图形。高精度、快速、高重复性、全面测量的Tropel FlatMaster MSP150是业界其他测量设备的没有的优势。


器型号

FlatMaster MSP40

FlatMaster MSP150

FlatMaster MSP300

测量原理

入射式扫描干涉

尺寸

~φ40mm

~φ150mm

~φ300mm

*大测量高度

40mm

60mm

300mm

测量波长

830nm  AlGaAs半导体激光器

测量数据数

*大约78万点

*大约400万点

测量分辨率

0.01μm

测量精度(Accuracy)

平面度

0.060μm

平行度

0.100μm

深度

0.250μm

重复精度(Repeatability)

平面度

0.02μm

平行度

0.025μm

深度 0.100μm

测量时间

从样品设置到分析约60秒



程度和等级差异! 全表面高速测量
除了平坦度,还可以测量平行度和阶跃。 可以在大约60秒内获取并分析样品表面上多达780,000个点的数据。 抵抗外部影响,例如温度和振动,可以进行稳定且高度精确的测量。




精度小于0.1μm! NIST可追溯
Tropel的平面度测量机不仅保证了重复性,而且还保证了所有产品系列中校准原型的测量精度(校准精度)。 符合美国国家标准技术研究所/ NIST的校准标准也包括在内,因此您每天可以通过检查准确性来放心地进行测量。




适用于从粗糙表面到镜面
特别的条纹扫描方法不仅支持镜面,而且还支持难以反射的切割面和切割面。 可用于从粗糙到镜面的广泛工作。

      

高精度高度测量的加工过程评估
可以获取整个表面上多达780,000个点的高度数据作为绝对值,因此可以高精度地测量高度。 因此,可用于评估加工过程,例如通过比较加工前后的满量程数据来分析抛光量分布。






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